回顾2019年，受全球政治经济的不稳定因素及贸易摩擦影响，上半年我国甚至全球半导体设备市场景气整体下行，企业面临较大挑战。不过，受5G、人工智能等新兴产业需求增长拉动，以及国内晶圆生产线装机产能持续爬坡带动本土供应链的成长，本土半导体设备厂商亦迎来发展机遇。
在此环境下，国内半导体设备领域上市公司2019年交出了一份怎样的答卷？以下将盘点包括中微公司、北方华创、晶盛机电、长川科技、华峰测控、芯源微等几家上市公司的业绩报告内容。
中微公司
年报显示，中微公司2019年实现营收19.47亿元，同比增长18.77%；实现归母净利润1.89亿元，同比增长107.51%；毛利率为34.93%，较上年度减少0.57个百分点。营收增长、净利翻倍，2019年中微公司无疑交出了一份不错的成绩单。
中微公司的主要产品为刻蚀机和MOCVD设备，截至2019年底，有1300多台刻蚀机和MOCVD设备的反应台已在40多条亚洲、欧洲和国内先进生产线量产。此外，2019年中微公司的5纳米刻蚀设备已获得行业领先客户的批量订单。在3D NAND芯片制造环节，其电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层的量产。
2019年7月，中微公司成为科创板首批上市企业，这可以说是其发展过程中的重要里程碑之一，进一步拓宽其融资渠道。
北方华创
年报显示，北方华创2019年实现营收40.58亿元，同比增长22.10%；实现归母净利润3.09亿元，同比增长32.24%；电子工艺装备的毛利率为35.23%，同比增长0.51%。实现营收和净利双增长，2019年北方华创总体发展稳健。
北方华创在年报中表示，2019年公司12吋硅刻蚀机、金属PVD、立式氧化/退火炉、湿法清洗机等多款高端半导体设备相继进入量产阶段；8吋硅刻蚀机、金属刻蚀机、深槽刻蚀机、金属PVD、立式氧化/退火炉、湿法清洗机等设备频频获得客户重复采购订单；SiC刻蚀、GaN刻蚀、介质刻蚀、PECVD、PVD以及湿法清洗机等成为第三代半导体行业主流配置机台。
2019年，北方华创通过非公开发行股票方式募集资金20亿元，用于建设“高端集成电路装备研发及产业化项目”和“高精密电子元器件产业化基地扩产项目”。国家大基金继2016年投资后， 再次参与北方华创此次定向增发，持股比例从本次发行前的7.5%上升至10.03%。
晶盛机电
年报显示，晶盛机电2019年实现营收31.10亿元，同比增长22.64%；实现归母净利润6.37亿元，同比增长9.49%；综合毛利率有所下滑，其中晶体生长设备毛利率为38.1%，智能化加工设备毛利率为35.4%。净利小幅增长、收入稳健增长，2019年晶盛机电亦呈现平稳发展。
晶盛机电表示，2019年公司全年新签订光伏设备订单超过37亿元，向中环股份、晶科等当前国内主流的光伏厂商供应晶体生长及加工设备；在半导体领域，单晶炉、抛光机、研磨机等设备陆续进入国内主流半导体材料厂商；成功研制出新一代12英寸半导体单晶炉、8英寸硅外延炉、8-12英寸硅片用精密双面研磨机、6-8英寸硅片用抛光机等。
长川科技
报告期内，长川科技完成重大资产重组，通过发行股份的方式购买国家大基金、天堂硅谷和慧、装备材料基金持有的长新投资90%的股权。本次交易完成后，长川科技持有长新投资100%的股权，长新投资持有新加坡STI 100%的股权，国家大基金则持有长川科技9.85%股权。
华峰测控
截至2019年底，华峰测控累计装机量超过2600台。2019年华峰测控申请在科创板上市并成功过会，今年2月正式在科创板挂牌上市。通过募投项目，华峰测控计划进入SoC类集成电路测试领域，并预期在达产后最终实现200套SoC类集成电路自动化测试系统的产能。
芯源微
据年报披露，芯源微的前道涂胶显影设备于2019年9月通过上海华力工艺验证并确认收入；前道Spin Scrubber清洗机设备已在中芯国际、上海华力等多个客户处通过工艺验证，截至目前已获得国内多家晶圆厂商的重复订单。集成电路制造后道先进封装设备目前已在国内多家封装大厂Fan-out产线应用等。2019年12月，芯源微成功在科创板上市。
结 语
2020年全球半导体市场受到疫情及经济下行影响，但国内中芯国际、长江存储等晶圆厂持续扩产，积塔半导体、华虹无锡等生产线亦在提升产能，国产设备厂商仍面临机遇。
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Source：全球半导体观察
封面图片来源：拍信网