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路透社报道，SK海力士于2月24日宣布，已与ASML签订了一项为期5年、价值4.8万亿韩元(约43.4亿美元)的采购合同。SK海力士将购入价值4.8万亿韩元的EUV光刻机设备。
报道指出，SK海力士在一份监管文件中称，这笔交易是为了实现下一代工艺芯片量产的目标。
SK海力士是全球知名的存储器厂商，2021年2月1日，SK海力士M16新厂举行了竣工仪式。
官方信息显示，SK海力士将首次在M16配备EUV（Extreme Ultraviolet，极紫外）光刻机，通过在M16厂采用先进基础设备，准备把新厂发展成为公司的下一代发展动力。
SK海力士计划运用EUV光刻机，从今年下半年起生产第四代1a纳米级DRAM产品。SK海力士今后将提高EUV设备利用率，进一步增强存储器半导体相关的先进工程技术领导力。
SK海力士M16于2018年11月开建，工厂建设总投资3.5万亿韩元。M16厂将主要生产DRAM产品，是SK海力士国内外生产设施中规模最大的工厂。
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